专利状态
真空容器抽真空的装置
专利申请进度
申请
2022-01-21
授权
2022-07-08
预估到期
2032-01-21
专利基础信息
申请号 申请日
授权公布号 授权公告日
分类号
分类
申请人名称 北京国科环宇科技股份有限公司
申请人地址
专利法律状态
  • 2022-07-08
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本公开涉及抽真空设备技术领域,尤其涉及一种真空容器抽真空的装置。该真空容器抽真空的装置包括真空容器,还包括隔膜泵;所述隔膜泵的进气口与所述真空容器连接,所述隔膜泵的出气口与外部环境连接;所述隔膜泵上设有电子阀门,所述电子阀门的进气孔与外部环境连接,所述电子阀门的排气孔与所述隔膜泵的第一腔室连接。该真空容器抽真空的装置,通过将电子阀门连接第一腔室和外部环境,能够利用电子阀门的开闭防止管道和泵体内产生积水,保证管道和泵体的洁净程度,并且利用隔膜泵作为抽真空的泵体结构简单可靠,无油无尘,也能进一步保证整个装置的洁净度。

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