专利状态
一种BGA溅镀工艺方法
专利申请进度
申请
2021-05-10
申请公布
2021-09-24
授权
2024-03-12
预估到期
2041-05-10
专利基础信息
申请号 申请日
授权公布号 授权公告日
分类号
分类
申请人名称 江苏长电科技股份有限公司
申请人地址
专利法律状态
  • 2024-03-12
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-10-15
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):H01L21/56;申请日:20210510
  • 2021-09-24
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明涉及一种BGA溅镀工艺方法,所述方法包括以下步骤:步骤一、取一治具,所述治具包括固定平台,所述固定平台四周设置有活动平台,在治具表面贴上胶膜并将单颗产品吸取放置在该治具的固定平台上;步骤二、固定平台四周的活动平台向上翻转升起,让活动平台的最外端与产品侧壁接触;步骤三、在产品外露的其余五个面上溅镀金属层,活动平台保护产品侧壁下端和底部锡球不被溅镀;步骤四、完成溅镀后,四周活动平台下落恢复至原位;步骤五、使用吸嘴将产品取下完成溅镀。本发明四周活动平台能够升起与产品侧面粘接,从而保护BGA或其他带球产品的底部不被溅镀,简化了BGA产品溅镀的工艺流程,提高了整体封装效率。

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